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VO2薄膜的研究和应用进展 刘少波1,张弛1,曾亦可1,黄焱球1,刘梅冬1 (1.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074) 摘要:综述了VO2薄膜的制备工艺,着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响,并介绍了它的最新应用情况. 关键词:VO2薄膜; 制备工艺; 热处理; 非制冷红外焦平面; 光阀; 激光器反射镜; [全文内容正在添加中] ......
VO2镀膜工艺与薄膜导电特性的研究 吕凤军1,斯永敏1 (1.国防科技大学航天与材料工程学院,长沙,410073) 摘要:利用射频磁控溅射方法制备了VO2薄膜,通过正交试验设计研究镀膜工艺因素对薄膜导电特性的影响规律.试验结果表明,影响薄膜导电性能的主要因素是热处理温度,其次是衬底的温度,溅射功率和工作压强对薄膜导电性能的影响很小.X射线衍射结果表明,制备的VO2薄膜为非晶体结构,480℃真空热处理后,VO2薄膜结晶良好.由此得到制备VO2薄膜的最优化工艺为:衬底的温度400℃,热处理温度480℃,溅射频率120W和工作气压1.5Pa. 关键词:VO2薄膜; 磁控溅射; 相变; 热滞回线; [全文内容正在添加中] ......
V2O5熔化成膜法制备VO2薄膜 徐时清1,马红萍2 (1.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;2.浙江科技学院,浙江,杭州,310012) 摘要:发展了一种新的VO2薄膜制备方法-V2O5熔化成膜法,其基本步骤为:基片预处理-涂粉-熔化成膜-真空退火-VO2薄膜.采用XRD和XPS等手段,对所得薄膜的物相组成与价态进行了分析,同时对薄膜进行了电阻随温度变化的测试.结果表明:通过该方法获得的薄膜,其主要成分是VO2,电阻突变达到4个数量级,相变温度为67.5℃. 关键词:V2O5; VO2薄膜; 电阻突变; [全文内容正在添加中] ......
VO2薄膜的结构,光学特性及其应用研究进展 胡军志1,陈学荣1,韩文政1 (1.装甲兵工程学院装备再制造工程系,北京,100072) 摘要:VO2具有4种多晶型结构.其中,VO2(M)向VO2(R)的转变是可逆的,并伴随着光,电,磁等物理性能的急剧变化.从晶体学角度描述了具有可逆相变特性的VO2的晶体结构,介绍了VO2薄膜在可见光-红外光波段的高低温光谱研究情况及激光辐照下VO2薄膜的突变特性.在应用原理分析的基础上综述了VO2薄膜光学特性方面的最新应用情况. 关键词:VO2薄膜; 晶体结构; 光学特性; 应用; [全文内容正在添加中] ......
溶胶凝胶法制备VO2薄膜的组织与性能研究 魏建锋1,谷臣清2,孙军1,赵康1 (1.西安交通大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710049;2.西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048) 摘要:采用V2O5熔体淬水制成胶体,并浸涂于不同的基片上,分别用于电阻检测和组织结构分析.经过真空加热分解V2O5凝胶薄膜,得到了具有相变特性的VO2薄膜.在真空热处理温度为500℃,时间为34h,真空气压为2Pa,得到的VO2相变薄膜电阻突变量级达3.4,相变温度在67℃左右.另外.TEM组织观察表明,VO2薄膜为多晶组织,VO2薄膜晶粒尺寸对电阻突变量级影响较大.晶粒尺寸增加,电阻突变量级增大.VO2晶界对相变有阻碍作用. 关键词:VO2薄膜; V2O5凝胶; 电阻特性; [全文内容正在添加中] ......
不同衬底上VO2薄膜的微观结构和光学性能研究 刘小杰1,涂铭旌1,张月1,黄婉霞1,颜家振1 (1.四川大学,四川,成都,610064) 摘要:以云母(001)晶面和玻璃片为衬底,采用溶胶-凝胶法在其表面制VO2薄膜.利用XRD,AFM,FTIR等手段分析了不同衬底上薄膜的微观结构和光学性能.结果表明,云母表面VO22薄膜常温下呈单一的(011)取向,而玻璃表面VO2薄膜呈现(100)和(011)2种取向,单一(011)晶体取向的OV2薄膜表现出更好的光学开关性能.还分析了VO2薄膜的晶体取向对其光学性能的影响. 关键词:云母衬底; VO2薄膜; 热致相变; 结晶取向; [全文内容正在添加中] ......
VO2薄膜γ辐照过程的变价和退火现象 卢铁城1,林理彬1,卢勇1,何捷1 (1.四川大学,物理系,教育部辐射物理及技术重点实验室,四川,成都,610064) 摘要:对VO2薄膜进行不同剂量的γ辐照处理,利用SEM和xPS对辐照前后的薄膜进行分析,发现γ辐照诱导V离子出现不同价态之间的转变现象,并且价态变化的程度和方向与辐照剂量有关;较低剂量γ辐照在薄膜表面造成显著损伤,当辐照剂量增大时,γ射线在VO2薄膜中产生退火效应,使薄膜表面质量得到改善.辐照后的VO2薄膜光透射特性测试结果与上述结论相合,对辐照诱导的价态变化和退火效应的机理进行了讨论. 关键词:VO2薄膜; γ辐照; 变价; 退火效应; [全文内容正在添加中] ......
相变光透射特性具有窗口结构的VO2薄膜 廖志君1,林理彬1,卢勇1,何捷1 (1.四川大学物理系,辐射物理及技术教育部重点实验室,四川,成都,610064) 摘要:利用无机溶胶凝胶法制备出具有优良热致相变光学特性的VO2薄膜,通过改变制备过程中的条件,发现在一定的制备参数下,可得到光透射特性具有窗口形状的热致相变薄膜,该类薄膜相变前后在600~850nm范围出现显著透光度窗口状变化现象.利用xRD,XPS对相变光学特性具有窗口结构的薄膜和具有典型相变特性的薄膜进行对比分析,结果显示利用无机溶胶-凝胶法得到的薄膜表面没有衬底离子出现,衬底扩散离子主要存在于薄膜和衬底界面之间.通过对引起相变过程中光透射窗口状变化的原因进行讨论,得到薄膜在相变过程中出现透射光谱窗口状的变化是来源于V3+和衬底扩散离子Na+的共同作用. 关键词:热致相变; 光学性质; VO2薄膜; [全文内容正在添......
真空还原制备的VO2热致相变薄膜Raman光谱和红外光谱研究 林理彬1,卢勇1 (1.四川大学物理系,) 摘要:报道了利用真空还原制备的VO2薄膜的红外透射光谱和Raman光谱,并进行370~900nm波段的光透射测试以及900nm波长的热滞回线特性测试,表明所制备VO2薄膜具有优良的热致相变光学特性,结晶状态不同的薄膜其Raman谱位置有明显改变,室温时的红外光谱表现出较好的红外振动特性.讨论了薄膜结晶状态对Raman位移的影响以及VO2薄膜的红外光谱. 关键词:VO2薄膜; 红外光谱; 激光Raman散射; [全文内容正在添加中] ......
VO2 纳米粉末的无机溶胶-凝胶法合成及表征 徐时清1,谷臣清1,赵康1 (1.西安理工大学材料学院,西安,710048) 摘要:采用 V2O5 粉末为原料,应用无机溶胶-凝胶法制备 VO2 纳米粉末,通过对制备过程及相关产物的 DSC,TGA,XRD 和 TEM 的测试分析,揭示出本方法中 V2O5 向 VO2 的物相转变过程,发现 V2O5 凝胶粉末在真空条件下于 350 ℃开始分解,达 1100 ℃时还原成 VO2,其颗粒粒径介于 50~70 nm. 关键词:VO2粉; 纳米粉末; V2O5; 无机溶胶-凝胶法; [全文内容正在添加中] ......
