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文章编号:1004-0609(2014)03-0739-06 Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响 王建鹏1,李 伟 2,刘 平2,马凤仓2,刘新宽2,陈小红2,何代华2 (1. 上海理工大学 机械工程学院,上海 200093； 2. 上海理工大学 材料科学与工程学院,上海 200093) 摘 要: 采用不同Si含量的TiSi复合靶和Cr靶,用射频磁控溅射工艺在Si基底片上沉积不同Si含量的CrN/TiSiN纳米多层膜.采用X射线衍射仪(XRD),高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响.结果表明:随着Si含量的增加,CrN相的结晶程度先增加后降低,涂层的力学性能先提高后降低,当n(Si):n(Ti)=7:18时获得最高硬度为31.5GPa.HRTEM观测......
