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La0.67 Sr0.33 MnO3外延薄膜的电脉冲诱发可逆变阻效应 刘理天1,曲炳郡1,黄丽娜1 (1.清华大学微电子研究所,北京,100084) 摘要:采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3,(001)单晶衬底上制备出钙钛矿结构La0.67 Sr0.33 MnO3,(LSMO)外延薄膜,通过X射线衍射仪和原子力显微镜表征其晶体取向与表面形貌,并对Ag-LSMO结构的室温电脉冲诱发可逆变阻效应进行研究.结果表明,在±4V,50ns对称脉冲作用下,LSMO膜层电阻发生高低转变,且变阻范围随脉冲幅值电压,脉冲宽度,脉冲数日等参数的变化而变化.该效应表现出良好的疲劳特性与非挥发存储特性,有望应用于新型不挥发存储器,传感器,可变电阻等电子元器件的研制. 关键词:La0.67 Sr0.33 MnO3; 脉冲激光沉积; 电脉冲诱发电阻转变; 电阻随机存取存储器; [全文内容正在添加中] ......
