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Sol-Gel法制备 BaxSr1-xTiO3铁电薄膜化学机制的探讨

来源期刊：无机材料学报2000年第2期

论文作者：孟中岩丁永平金承钰

关键词：BST薄膜; sol-gel工艺; FTIR; DSC; XRD; AFM; BST thin films; sol-gel method; FTIR; DSC; XRD; AFM;

摘要：用FTIR分析, 结合DSC、XRD、AFM实验结果，展示了sol-gel法制备 BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜热演化过程的化学机制. 研究表明：螯合剂HAcAc的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度，从而制得了晶化完善、致密无裂纹的BST薄膜.

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孟中岩¹，丁永平²，金承钰¹

(1.上海大学无机材料系, 上海 201800;
2.上海交通大学, 上海 200030)

摘要:用FTIR分析, 结合DSC、XRD、AFM实验结果，展示了sol-gel法制备 BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜热演化过程的化学机制. 研究表明：螯合剂HAcAc的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度，从而制得了晶化完善、致密无裂纹的BST薄膜.

关键词:BST薄膜; sol-gel工艺; FTIR; DSC; XRD; AFM; BST thin films; sol-gel method; FTIR; DSC; XRD; AFM;

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