外延薄膜生长的实时监测分析研究
来源期刊：功能材料2004年第2期
论文作者：邓新武 陶伯万 刘兴钊 李金隆 张鹰 李言荣
关键词：薄膜生长; 实时监测; RHEED;
摘 要：利用反射式高能电子衍射(RHEED)在超高真空中对SrTiO3(100)、LaAlO3(100)、Si(100)单晶基片进行分析,讨论了衍射花样与晶体表面结构的对应关系,计算出表面的晶体学参数,同时采用激光分子束外延技术同质外延生长SrTiO3薄膜,根据RHEED衍射图样及强度振荡曲线实时监控薄膜的生长.
邓新武1，陶伯万1，刘兴钊1，李金隆1，张鹰1，李言荣1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:利用反射式高能电子衍射(RHEED)在超高真空中对SrTiO3(100)、LaAlO3(100)、Si(100)单晶基片进行分析,讨论了衍射花样与晶体表面结构的对应关系,计算出表面的晶体学参数,同时采用激光分子束外延技术同质外延生长SrTiO3薄膜,根据RHEED衍射图样及强度振荡曲线实时监控薄膜的生长.
关键词:薄膜生长; 实时监测; RHEED;
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