电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究
来源期刊：腐蚀科学与防护技术2004年第5期
论文作者：徐立强 盛玫 黄卫东 罗乐 王旭洪 王莉
关键词：塑料封装; 湿度传感器; 水汽扩散; 有限元分析;
摘 要：测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线.应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线,得到了水汽在各种防护条件下的扩散系数,进而计算出水汽扩散的激活能,定量比较了各种防护方法的效果.实验和模拟结果表明:硅酮加氮化硅薄膜的双层防护可以显著改善电子模块的防水性能.
徐立强1，盛玫1，黄卫东2，罗乐1，王旭洪1，王莉1
(1.上海新代车辆技术有限公司,上海,200050;
2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术国家重点实验室,上海,200050)
摘要:测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线.应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线,得到了水汽在各种防护条件下的扩散系数,进而计算出水汽扩散的激活能,定量比较了各种防护方法的效果.实验和模拟结果表明:硅酮加氮化硅薄膜的双层防护可以显著改善电子模块的防水性能.
关键词:塑料封装; 湿度传感器; 水汽扩散; 有限元分析;
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