CVD金刚石薄膜的织构分析
来源期刊:工程科学学报2000年第3期
论文作者:毛卫民 陈楠
文章页码:259 - 261
关键词:金刚石薄膜;面织构;化学气相沉积;织构生成;
摘 要:采用极图和取向分布函数法分析CVD金刚石薄膜的不同织构.分析表明,高的多重性因子使得{110}面织构有更高的出现概率.具体分析了{221}面织构出现的孪生机制,强调了织构与性能关系研究的重要性,并推荐使用先进织构分析手段.
毛卫民,陈楠
摘 要:采用极图和取向分布函数法分析CVD金刚石薄膜的不同织构.分析表明,高的多重性因子使得{110}面织构有更高的出现概率.具体分析了{221}面织构出现的孪生机制,强调了织构与性能关系研究的重要性,并推荐使用先进织构分析手段.
关键词:金刚石薄膜;面织构;化学气相沉积;织构生成;