镍的金属有机化学气相沉积
来源期刊：材料导报2002年第4期
论文作者：赵立峰 谢长生
关键词：金属有机化学气相沉积; 镍薄膜;
摘 要：介绍了用MOCVD技术沉积镍膜的应用状况,以及几种典型前驱体的沉积性能.着重介绍了羰基镍的沉积特性.结合MOCVD技术的最新进展,对镍的化学气相沉积技术作了简要的展望.
赵立峰1，谢长生1
(1.华中科技大学材料学院,武汉,430074)
摘要:介绍了用MOCVD技术沉积镍膜的应用状况,以及几种典型前驱体的沉积性能.着重介绍了羰基镍的沉积特性.结合MOCVD技术的最新进展,对镍的化学气相沉积技术作了简要的展望.
关键词:金属有机化学气相沉积; 镍薄膜;
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