新型氧敏薄膜材料
来源期刊：材料研究学报2001年第1期
论文作者：徐明霞 徐廷献 刘丽月 樊丽莹 郑嘹赢
关键词：薄膜材料; 氧敏特性; 纳米粒子; 溶胶; -凝胶法;
摘 要：采用溶胶-凝胶工艺制备了用于汽车新型传感器的氧敏薄膜材料,包括过渡金属氧化物(MoOx、TiOx、CrOx)、钙钛矿型(SrTiO3/LaNiO3、LaNiO3、LaCrO3)和类钙钛矿型(La1-xMxNiO4)纳米粒子薄膜.结果表明,与传统氧传感器用的ZrO2、TiO2半导体材料相比,这三类材料的阻温系数小,敏感度高,响应速度快
徐明霞1，徐廷献1，刘丽月1，樊丽莹1，郑嘹赢1
(1.天津大学)
摘要:采用溶胶-凝胶工艺制备了用于汽车新型传感器的氧敏薄膜材料,包括过渡金属氧化物(MoOx、TiOx、CrOx)、钙钛矿型(SrTiO3/LaNiO3、LaNiO3、LaCrO3)和类钙钛矿型(La1-xMxNiO4)纳米粒子薄膜.结果表明,与传统氧传感器用的ZrO2、TiO2半导体材料相比,这三类材料的阻温系数小,敏感度高,响应速度快
关键词:薄膜材料; 氧敏特性; 纳米粒子; 溶胶; -凝胶法;
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