简介概要

AlGaN基UV-LED的研究与进展

来源期刊：功能材料与器件学报2007年第1期

论文作者：魏同波闫建昌李晋闽王军喜

关键词：UV-LED; AlGaN; AlInGaN; 综述;

摘要：近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注,成为了全球半导体领域研究和投资的新热点.本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题,对UVLED的发展历程、技术路线和研究进展进行了详细介绍,并展望了未来发展方向.

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魏同波¹，闫建昌¹，李晋闽¹，王军喜¹

(1.中国科学院半导体研究所,北京,100083)

摘要:近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注,成为了全球半导体领域研究和投资的新热点.本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题,对UVLED的发展历程、技术路线和研究进展进行了详细介绍,并展望了未来发展方向.

关键词:UV-LED; AlGaN; AlInGaN; 综述;

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