电化学原子层外延及其新材料制备应用研究进展
来源期刊：材料导报2005年第9期
论文作者：朱文 杨君友 侯杰 郜鲜辉
关键词：纳米超晶格; ECALE; 欠电位沉积; 原子层外延;
摘 要：电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长.详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响ECALE过程的关键要素,并进一步介绍了它在新材料制备中的应用研究进展.
朱文1，杨君友1，侯杰1，郜鲜辉1
(1.华中科技大学模具技术国家重点实验室,武汉,430074)
摘要:电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长.详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响ECALE过程的关键要素,并进一步介绍了它在新材料制备中的应用研究进展.
关键词:纳米超晶格; ECALE; 欠电位沉积; 原子层外延;
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