影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题
来源期刊：超硬材料工程2008年第4期
论文作者：孙振路 张平伟 吴晓波 胡红彦 刘秀军
文章页码：11 - 13
关键词：CVD金刚石膜;完整性;膨胀系数;
摘 要：直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用。文章通过研究金刚石膜的质量、衬底与膜的结合力、以及衬底的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素。
孙振路，张平伟，吴晓波，胡红彦，刘秀军
摘 要：直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用。文章通过研究金刚石膜的质量、衬底与膜的结合力、以及衬底的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素。
关键词：CVD金刚石膜;完整性;膨胀系数;
