退火温度对FeCoTiO纳米颗粒膜软磁性能的影响
来源期刊：磁性材料及器件2021年第1期
论文作者：郭韦 张明 倪经 周俊 何禹含
关键词：FeCoTiO纳米颗粒膜;退火;软磁性能;
摘 要：采用射频磁控溅射法制备FeCoTiO纳米颗粒膜,在不同温度下进行退火处理,研究退火温度对其磁性能的影响。结果表明,随着退火温度的升高,在低于200℃时薄膜受应力变化机制影响较大,体现为矫顽力Hc、各向异性场Hk、截止频率fr降低,磁导率实部μ’增大;在高于200℃时以晶粒长大机制为主,体现为Hc、Hk、fr增高,μ’减小。综合考虑FeCoTiO纳米颗粒膜磁性能在各退火温度下的表现,在制备集成磁膜微电感的过程中,确定250℃是聚酰亚胺的最佳高温胶联化温度。
郭韦1，张明1，倪经1，周俊1，何禹含2
1. 西南应用磁学研究所2. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
摘 要：采用射频磁控溅射法制备FeCoTiO纳米颗粒膜,在不同温度下进行退火处理,研究退火温度对其磁性能的影响。结果表明,随着退火温度的升高,在低于200℃时薄膜受应力变化机制影响较大,体现为矫顽力Hc、各向异性场Hk、截止频率fr降低,磁导率实部μ’增大;在高于200℃时以晶粒长大机制为主,体现为Hc、Hk、fr增高,μ’减小。综合考虑FeCoTiO纳米颗粒膜磁性能在各退火温度下的表现,在制备集成磁膜微电感的过程中,确定250℃是聚酰亚胺的最佳高温胶联化温度。
关键词：FeCoTiO纳米颗粒膜;退火;软磁性能;
