薄膜生长模型与计算机模拟

李言荣¹，杨春¹

(1.电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;
2.四川师范大学数学与软件科学学院,四川,成都,610068)

摘要:阐述了计算机模拟薄膜生长研究在纳米材料设计中的重要意义.通过最近多篇文献报道,归类介绍了常见的薄膜生长模型、原理及方法,并详细对比了分子动力学、蒙特卡罗和量子力学3类方法、原理及应用特点.报道了国内外近几年薄膜生长模型与模拟的一些研究成果.结合不同的方法与原理,以分子动力学结合蒙特卡罗模型为重点,简要评述了这些模型及模拟特点,并提出了作者的一些见解.分析了多元化合物薄膜生长模拟的技术难点,指出了量子力学计算理论与方法同分子动力学、蒙特卡罗模型相结合的新型模型是解决这一难题的发展方向,展望了今后国内外的发展趋势.

关键词:薄膜生长; 模型; 计算机模拟;

【全文内容正在添加中】