多晶硅清洗装备及技术发展展望
来源期刊：有色设备2020年第6期
论文作者：杨永亮 石何武 张升学 郑红梅
关键词：多晶硅;清洗装置;碱洗法;酸洗法;
摘 要：多晶硅的清洗环节作为多晶硅后处理过程中的关键环节,其装备技术的发展随着近年来多晶硅生产的规模化、精细化、智能化发展也在不断的优化提升,本文回顾了多晶硅清洗装备技术的发展历程,总结了多晶硅清洗的特点,并针对当前多晶硅的产品特点,对未来多晶硅清洗装备技术进行了展望,旨在为多晶硅生产企业在清洗装备技术选择上提供指导性意见。
杨永亮，石何武，张升学，郑红梅
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：多晶硅的清洗环节作为多晶硅后处理过程中的关键环节,其装备技术的发展随着近年来多晶硅生产的规模化、精细化、智能化发展也在不断的优化提升,本文回顾了多晶硅清洗装备技术的发展历程,总结了多晶硅清洗的特点,并针对当前多晶硅的产品特点,对未来多晶硅清洗装备技术进行了展望,旨在为多晶硅生产企业在清洗装备技术选择上提供指导性意见。
关键词：多晶硅;清洗装置;碱洗法;酸洗法;
