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抛光石英玻璃亚表面波纹研究

来源期刊:材料导报2014年第S1期

论文作者:杜秀蓉 宋学富 孙元成 张晓强

文章页码:240 - 491

关键词:石英玻璃;亚表面波纹;切割;研磨;抛光;

摘    要:抛光石英玻璃经HF溶液腐蚀后,表面存在周期分布的波纹。通过计算波纹的曲率半径,对比切、研、抛加工工艺和表面形貌,确定表面波纹来源于内圆切割机切片阶段,并且波纹随后续加工趋于平缓,最终掩盖在抛光层之下。

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抛光石英玻璃亚表面波纹研究

杜秀蓉,宋学富,孙元成,张晓强

中国建筑材料科学研究总院

摘 要:抛光石英玻璃经HF溶液腐蚀后,表面存在周期分布的波纹。通过计算波纹的曲率半径,对比切、研、抛加工工艺和表面形貌,确定表面波纹来源于内圆切割机切片阶段,并且波纹随后续加工趋于平缓,最终掩盖在抛光层之下。

关键词:石英玻璃;亚表面波纹;切割;研磨;抛光;

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