ITO真空镀膜设备结构设计分析
来源期刊：机械设计与制造2000年第3期
论文作者：郑光文
文章页码：68 - 69
关键词：真空室;镀膜;耙座;主轴;旋转阀;
摘 要：简单阐述了ITO镀膜工艺流程 ,并重点分析了真空镀膜设备结构设计特点。
郑光文
华东冶金学院!马鞍山243002
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