Na2O对MoSi2/oxide发热元件特性的影响
来源期刊：材料科学与工艺2002年第2期
论文作者：江莞 王刚 赵世柯
关键词：二硅化钼; 发热元件; 蠕变特性;
摘 要：为了克服半导体热处理炉中MoSi2发热元件的低温氧化问题,通过添加高Na2O粘土获得了由MoSi2/oxide复合材料制成的发热元件,考查了脱Na工艺前后MoSi2/oxide发热元件使用特性的变化.研究结果表明,脱Na工艺较好地解决了半导体制品热处理装置中石英玻璃管的失透问题,使发热元件的弯曲强度和高温蠕变特性有了明显地改善,提高了发热元件的使用寿命.
江莞1，王刚1，赵世柯1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050)
摘要:为了克服半导体热处理炉中MoSi2发热元件的低温氧化问题,通过添加高Na2O粘土获得了由MoSi2/oxide复合材料制成的发热元件,考查了脱Na工艺前后MoSi2/oxide发热元件使用特性的变化.研究结果表明,脱Na工艺较好地解决了半导体制品热处理装置中石英玻璃管的失透问题,使发热元件的弯曲强度和高温蠕变特性有了明显地改善,提高了发热元件的使用寿命.
关键词:二硅化钼; 发热元件; 蠕变特性;
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