V含量对(Nb,V)N复合膜微结构、力学性能与摩擦性能的影响

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2014年第4期

论文作者：胡红霞 许俊华 喻利花

文章页码：635 - 640

关键词：NbVN薄膜;微结构;力学性能;摩擦性能;

摘    要：采用JGP-450复合型高真空多靶磁控溅射设备制备（Nb1-x,Vx）N（x=0,0.08,0.12,0.16,0.19）复合膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、纳米压痕仪及摩擦磨损仪等对复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能进行表征。结果表明:NbN薄膜的择优取向为（200）,在NbN薄膜中添加元素V后,薄膜的择优取向转变为（111）,但x增大到0.19时薄膜又呈（200）择优取向;随V元素含量增加,（Nb,V）N复合膜的硬度和弹性模量均先增大后减小,x=0.12时,显微硬度和弹性模量都达到最大,分别为26.88 GPa和328.24 GPa;随温度从室温升高到700℃,（Nb0.88,V0.12）N复合膜的摩擦因数逐渐降低。（Nb0.88,V0.12）N复合薄膜具有良好的综合性能。