离子束增强沉积CrN膜层及其微动摩擦学性能研究
来源期刊：材料热处理学报2005年第3期
论文作者：唐宾 李咏梅 吴培强 秦林
关键词：离子束增强沉积; CrN; 组织结构; 微动摩擦学性能;
摘 要：以不同氮离子辅助轰击能量制备CrN膜层,利用纳米压入仪及显微硬度计分别测试单晶Si片上膜层的硬度及断裂韧度K1C使用XRD、XPS及EPMA分析离子轰击能量对镀层组织结构的影响.结果表明,采用能量较低的氮离子轰击得到的涂层,由于金属Cr的存在,涂层硬度虽有所降低,但断裂韧度K1C数值较高.选择较低的4keV辅助轰击能量,在M2高速钢基体上沉积CrN涂层,膜层在空气介质中表现出优异的耐磨减摩特性.但在水介质条件下,由于膜层接触区域的去钝化/再钝化使腐蚀和磨损相互加速,导致CrN膜层摩擦系数,尤其是磨损量明显高于基材.
唐宾1，李咏梅1，吴培强1，秦林1
(1.太原理工大学表面工程研究所,山西,太原,030024)
摘要:以不同氮离子辅助轰击能量制备CrN膜层,利用纳米压入仪及显微硬度计分别测试单晶Si片上膜层的硬度及断裂韧度K1C使用XRD、XPS及EPMA分析离子轰击能量对镀层组织结构的影响.结果表明,采用能量较低的氮离子轰击得到的涂层,由于金属Cr的存在,涂层硬度虽有所降低,但断裂韧度K1C数值较高.选择较低的4keV辅助轰击能量,在M2高速钢基体上沉积CrN涂层,膜层在空气介质中表现出优异的耐磨减摩特性.但在水介质条件下,由于膜层接触区域的去钝化/再钝化使腐蚀和磨损相互加速,导致CrN膜层摩擦系数,尤其是磨损量明显高于基材.
关键词:离子束增强沉积; CrN; 组织结构; 微动摩擦学性能;
【全文内容正在添加中】
