纳米氧化镧对电铸电极材料抗电蚀性的影响

朱健¹，朱荻²，明平美²，贾世星¹，曾永彬²

(1.南京电子器件研究所,江苏,南京,210016;
2.南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016;
3.河南理工大学,河南,焦作,454000)

摘要:增强工具电极材料的耐电蚀能力,降低电极损耗是微细电火花加工技术可靠、稳定且高效制造高深宽比微结构和器件的研究关键之一.选用纳米量级稀土氧化物-氧化镧为电铸基液添加剂制备了微工具铜电极材料,探讨了它的作用机理,分析了电铸铸层的微观形貌,并实验研究了纳米氧化镧添加剂对电铸电极材料抗电蚀性能的影响,优选了电沉积工艺参数.结果表明:添加适量纳米氧化镧添加剂并在适当电沉积条件下,电铸铜电极材料表现出较强的抗电蚀能力,且综合机械性能优异.

关键词:电铸; 抗电蚀性; 纳米氧化镧; 稀土;

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