采用双辉等离子表面冶金技术在金刚石厚膜表面制备钽涂层的性能

来源期刊：机械工程材料2020年第3期

论文作者：鲁明杰 郑可 高洁 黑鸿君 吴玉程 树学峰 唐宾 于盛旺

文章页码：51 - 55

关键词：金刚石厚膜;钽涂层;双辉等离子表面冶金;结合强度;

摘    要：采用双辉等离子表面冶金技术在机械抛光后的金刚石厚膜表面制备钽涂层,研究了涂层的表面及截面形貌、微区成分、物相组成及结合性能。结果表明:制备得到的钽涂层连续、均匀,由钽金属层与界面处的化合物层组成,厚度约1.7μm,组织为柱状晶;金刚石厚膜与钽涂层的界面处存在厚度约为1.1μm的钽与碳元素呈梯度分布的扩散区,且生成了TaC和Ta₂C两种化合物;钽原子填充了金刚石厚膜抛光产生的磨痕,其表面粗糙度由128nm降低为57nm;钽涂层的塑性以及与金刚石厚膜的结合性能良好。