纳米阵列阳极氧化铝模板的制备及其形成机理

胡宁宁¹，倪自丰¹，葛世荣¹

(1.中国矿业大学机电学院,江苏,徐州,221008)

摘要:多孔阵列阳极氧化铝模板为合成大面积的准一维纳米丝和纳米管微阵列提供了一种有效的载体.采用二次氧化法,制备了孔径在30～40 nm之间的纳米阵列氧化铝模板,分析了纳米阵列阳极氧化铝模板形成的热力学原理、动力学原理及孔的形成机理.采用扫描电子显微镜(SEM)对其形貌进行了表征,通过扩孔试验得到了孔径与扩孔时间的关系.用XRD衍射仪对纳米薄膜的成分和形态进行了分析,证明了制备的氧化膜是非晶态的.

关键词:阳极氧化; 多孔氧化铝模板; 热力学; 动力学; 成孔机理;

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