PCVD-TiN,TiAlN及TiSiN涂层的抗高温氧化性能
来源期刊：材料保护1999年第1期
论文作者：谢雁 石玉龙 彭红瑞 赵程
关键词：涂层; 抗氧化性能; 等离子体化学气相沉积; TiN; TiAlN; TiSiN;
摘 要：研究了用PCVD法所制备的TiN,TiAlN和TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性能及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性能.结果表明,TiAlN,TiSiN涂层在空气中的抗高温氧化温度达700 ℃以上,TiN涂层可达600 ℃.在双氧水介质中,PCVD-TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力,且优于PVD-TiN涂层.
谢雁1，石玉龙1，彭红瑞1，赵程1
(1.青岛化工学院等离子表面技术研究所,266042)
摘要:研究了用PCVD法所制备的TiN,TiAlN和TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性能及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性能.结果表明,TiAlN,TiSiN涂层在空气中的抗高温氧化温度达700 ℃以上,TiN涂层可达600 ℃.在双氧水介质中,PCVD-TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力,且优于PVD-TiN涂层.
关键词:涂层; 抗氧化性能; 等离子体化学气相沉积; TiN; TiAlN; TiSiN;
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