云母衬底掺钼二氧化钒薄膜热致相变性能研究
来源期刊：钢铁钒钛2008年第2期
论文作者：刘小杰 涂铭旌 黄婉霞 张月 颜家振
关键词：二氧化钒; 薄膜; 钼掺杂; 相变温度;
摘 要：采用溶胶凝胶法在云母衬底上制备出掺杂Mo的VO2薄膜,并采用XRD、AFM、XPS、FTIR等检测手段,对掺杂薄膜的物相组成、微观形貌、相变温度进行分析.结果表明:在云母片表面制备出的掺杂的VO2薄膜呈(011)晶面取向生长,并且每增加1%的Mo掺杂量,其相变温度下降7.82℃,掺杂后降低了样品的滞回温宽,而且薄膜相变前后红外透过率的变化量仍保持较高.
刘小杰1，涂铭旌1，黄婉霞1，张月1，颜家振1
(1.四川大学材料科学与工程学院,四川,成都,610065)
摘要:采用溶胶凝胶法在云母衬底上制备出掺杂Mo的VO2薄膜,并采用XRD、AFM、XPS、FTIR等检测手段,对掺杂薄膜的物相组成、微观形貌、相变温度进行分析.结果表明:在云母片表面制备出的掺杂的VO2薄膜呈(011)晶面取向生长,并且每增加1%的Mo掺杂量,其相变温度下降7.82℃,掺杂后降低了样品的滞回温宽,而且薄膜相变前后红外透过率的变化量仍保持较高.
关键词:二氧化钒; 薄膜; 钼掺杂; 相变温度;
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