改良西门子法生产电子级多晶硅质量影响因素分析
来源期刊：世界有色金属2015年第10期
论文作者：杨紫琪
文章页码：64 - 65
关键词：改良西门子法;电子级多晶硅;质量;
摘 要：随着改良西门子法生产多晶硅工艺技术的日趋成熟,提高多晶硅产品的质量,增强市场竞争力成为多晶硅企业生存与发展面临的重大课题。本文对制约电子级多晶硅质量的几类因素进行分析,为生产高质量多晶硅提供参考。
杨紫琪
摘 要：随着改良西门子法生产多晶硅工艺技术的日趋成熟,提高多晶硅产品的质量,增强市场竞争力成为多晶硅企业生存与发展面临的重大课题。本文对制约电子级多晶硅质量的几类因素进行分析,为生产高质量多晶硅提供参考。
关键词：改良西门子法;电子级多晶硅;质量;
