力学探针两步压入法研究(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的超硬效应
来源期刊：材料工程2002年第6期
论文作者：虞晓江 李戈扬 韩增虎 赖倩茜 田家万
关键词：两步压入法; 薄膜; 纳米多层膜; 超硬效应;
摘 要：提出了采用毫牛力学探针技术对硬质薄膜的硬度和弹性模量等力学性能进行准确测量的两步压入法,并用此方法研究了(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的硬度和调制周期之间的关系.结果表明,该纳米多层膜体系的硬度和弹性模量随调制周期的减小单调增加, 并在调制周期为1.3nm时达到最高值HV=29.0GPa和E=383.0GPa,表明(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜存在超硬度和超模量效应.
虞晓江1，李戈扬1，韩增虎1，赖倩茜1，田家万1
(1.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030)
摘要:提出了采用毫牛力学探针技术对硬质薄膜的硬度和弹性模量等力学性能进行准确测量的两步压入法,并用此方法研究了(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的硬度和调制周期之间的关系.结果表明,该纳米多层膜体系的硬度和弹性模量随调制周期的减小单调增加, 并在调制周期为1.3nm时达到最高值HV=29.0GPa和E=383.0GPa,表明(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜存在超硬度和超模量效应.
关键词:两步压入法; 薄膜; 纳米多层膜; 超硬效应;
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