阳极氧化铝的原子层淀积封孔研究
来源期刊：材料保护2013年第S1期
论文作者：杨忙 计峰 李超波 夏洋 刘邦武
文章页码：24 - 26
关键词：阳极氧化铝;原子层淀积封孔;氧化铝;
摘 要：制备了多孔阳极氧化铝,利用原子层淀积技术对其封孔,借助场发射扫描电镜(SEM)分析了样品的表面及剖面形貌,对样品进行染色处理,利用酸性点滴试验测试样品抗腐蚀性能。结果表明:阳极氧化处理形成大孔径约为16 nm的多孔膜,多孔膜在循环50次的原子层淀积下能实现表面封孔而内部有空结构;经封孔后的样品抗染色及抗腐蚀能力增强。
杨忙1,2,3，计峰1，李超波2,3，夏洋2,3，刘邦武2,3
1. 山东大学物理学院2. 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室
摘 要：制备了多孔阳极氧化铝,利用原子层淀积技术对其封孔,借助场发射扫描电镜(SEM)分析了样品的表面及剖面形貌,对样品进行染色处理,利用酸性点滴试验测试样品抗腐蚀性能。结果表明:阳极氧化处理形成大孔径约为16 nm的多孔膜,多孔膜在循环50次的原子层淀积下能实现表面封孔而内部有空结构;经封孔后的样品抗染色及抗腐蚀能力增强。
关键词：阳极氧化铝;原子层淀积封孔;氧化铝;
