硅片的直接键合
来源期刊：稀有金属1998年第5期
论文作者：张椿 朱悟新 周旗钢 刘安生 王敬 屠海令
关键词：硅片; 硅片键合; 直接键合;
摘 要：介绍了硅片的直接键合工艺、键合机理、键合质量评价方法以及键合技术目前的研究和应用状况等.
张椿1，朱悟新1，周旗钢1，刘安生1，王敬1，屠海令1
(1.北京有色金属研究总院,北京,100088)
摘要:介绍了硅片的直接键合工艺、键合机理、键合质量评价方法以及键合技术目前的研究和应用状况等.
关键词:硅片; 硅片键合; 直接键合;
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