离子束薄膜合成及其应用
来源期刊：功能材料与器件学报2001年第2期
论文作者：杨根庆 柳襄怀 邹世昌 王曦 李昌荣 郑志宏
关键词：离子束辅助沉积; 真空磁过滤弧源沉积; SOI;
摘 要：报道了中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长，以及离子注入 SOI材料合成的方法及其物理过程 ,同时也对离子束合成薄膜在工业及国防上的应用进行了探讨。
杨根庆1，柳襄怀1，邹世昌1，王曦1，李昌荣1，郑志宏1
(1.中国科学院)
摘要:报道了中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长，以及离子注入 SOI材料合成的方法及其物理过程 ,同时也对离子束合成薄膜在工业及国防上的应用进行了探讨。
关键词:离子束辅助沉积; 真空磁过滤弧源沉积; SOI;
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