电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅中18个痕量元素
来源期刊：冶金分析2009年第11期
论文作者：李菁菁 刘英波 王劲榕 杨毅
关键词：电感耦合等离子体质谱法; 动态反应池; 多晶硅; 痕量元素; inductively coupled plasma mass spectrometry; dynamic reaction cell; multicrystal silicon; trace element;
摘 要：建立了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)对光伏用多晶硅中B,Cu,Fe,Al,K,Ca,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,As,Mo,W,Cd,Pb共计18个可能共存的杂质元素同时定量测定的方法.以硝酸、氢氟酸分解多晶硅试样,称重法确定加入试剂的量.采用动态反应池(DRC)技术,在池内引入氨气(NH_3)作为反应气体来消除质谱干扰.在选定的条件下,被测元素的检出限为0.8～6.9 pg/g(3σ),样品的加标回收率在83.0%～106%之间,相对标准偏差(RSD)为0.27%～2.7%(n=11).所建立的分析方法实现了对光伏用多晶硅样品中痕量元素的全分析,实际样品的测定结果与参考值相符.
李菁菁1，刘英波1，王劲榕1，杨毅1
(1.昆明冶金研究院,云南昆明,650031)
摘要:建立了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)对光伏用多晶硅中B,Cu,Fe,Al,K,Ca,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,As,Mo,W,Cd,Pb共计18个可能共存的杂质元素同时定量测定的方法.以硝酸、氢氟酸分解多晶硅试样,称重法确定加入试剂的量.采用动态反应池(DRC)技术,在池内引入氨气(NH_3)作为反应气体来消除质谱干扰.在选定的条件下,被测元素的检出限为0.8～6.9 pg/g(3σ),样品的加标回收率在83.0%～106%之间,相对标准偏差(RSD)为0.27%～2.7%(n=11).所建立的分析方法实现了对光伏用多晶硅样品中痕量元素的全分析,实际样品的测定结果与参考值相符.
关键词:电感耦合等离子体质谱法; 动态反应池; 多晶硅; 痕量元素; inductively coupled plasma mass spectrometry; dynamic reaction cell; multicrystal silicon; trace element;
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