电子陶瓷材料的纳米尺寸效应和纳米技术
来源期刊:功能材料与器件学报2003年第4期
论文作者:赵岚 徐建梅 胡云香 张道礼 吕文中
关键词:电子陶瓷材料; 纳米尺寸效应; 纳米技术; 纳米分析;
摘 要:电子陶瓷材料的纳米尺寸效应、纳米技术以及代表纳米特征的相关特征技术变得日益重要.本文讨论了电子陶瓷材料领域的纳米技术研究进展以及将来的发展趋势.首先阐述了纳米氧化物陶瓷的尺寸效应,然后讨论纳米结晶陶瓷的制备方法和应用,最后叙述在纳米技术与半导体技术发展中并驾齐驱的集成陶瓷薄膜技术的发展趋势.
赵岚1,徐建梅1,胡云香1,张道礼1,吕文中1
(1.华中科技大学电子科学与技术系,湖北武汉,430074;
2.中国地质大学材料与化学工程学院,湖北武汉,430074)
摘要:电子陶瓷材料的纳米尺寸效应、纳米技术以及代表纳米特征的相关特征技术变得日益重要.本文讨论了电子陶瓷材料领域的纳米技术研究进展以及将来的发展趋势.首先阐述了纳米氧化物陶瓷的尺寸效应,然后讨论纳米结晶陶瓷的制备方法和应用,最后叙述在纳米技术与半导体技术发展中并驾齐驱的集成陶瓷薄膜技术的发展趋势.
关键词:电子陶瓷材料; 纳米尺寸效应; 纳米技术; 纳米分析;
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