金属预置层后硒化法制备CIGS薄膜的研究进展
来源期刊：稀有金属材料与工程2014年第2期
论文作者：王影 周爱军 戴新义 冯利东 徐晓辉 杜敬芳 李晶泽
文章页码：506 - 512
关键词：金属预置层;硒化;CIGS;薄膜太阳电池;光吸收层;
摘 要：系统综述了国内外采用金属预置层后硒化法制备Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜的研究进展,重点从预置层制备过程中靶材的选择、叠层方式以及后硒化过程中硒源种类和硒化方式的选择等几个方面对各种工艺的优点、存在的问题和可能的解决方案进行讨论,并对金属预置层后硒化法的发展前景和趋势进行了展望。
王影1，周爱军1,2，戴新义1，冯利东1，徐晓辉1，杜敬芳1，李晶泽1
1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室2. 浙江大学硅材料国家重点实验室
摘 要：系统综述了国内外采用金属预置层后硒化法制备Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜的研究进展,重点从预置层制备过程中靶材的选择、叠层方式以及后硒化过程中硒源种类和硒化方式的选择等几个方面对各种工艺的优点、存在的问题和可能的解决方案进行讨论,并对金属预置层后硒化法的发展前景和趋势进行了展望。
关键词：金属预置层;硒化;CIGS;薄膜太阳电池;光吸收层;
