高电流密度交流电下金互连线的失效行为
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2010年第6期
论文作者：王鸣 张滨 刘常升 张广平
文章页码：827 - 829
关键词：金互连线;电流密度;交流电;温度场;失效;
摘 要：通过对200nm厚,2μm宽的金互连线施加高电流密度交流电,研究该互连线的失效行为.通过解析金互连线在交流电作用下失效熔化过程的温度场模型,得到了高电流密度下的金线失效熔化过程温度场的解析解.实验数据与理论计算值的对比表明,在高电流密度交流电加载下,由于金互连线的局部过热,导致其中间熔断而造成失效,而不是由热疲劳导致的损伤.
王鸣1，张滨1，刘常升1，张广平2
1. 东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室2. 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室
摘 要：通过对200nm厚,2μm宽的金互连线施加高电流密度交流电,研究该互连线的失效行为.通过解析金互连线在交流电作用下失效熔化过程的温度场模型,得到了高电流密度下的金线失效熔化过程温度场的解析解.实验数据与理论计算值的对比表明,在高电流密度交流电加载下,由于金互连线的局部过热,导致其中间熔断而造成失效,而不是由热疲劳导致的损伤.
关键词：金互连线;电流密度;交流电;温度场;失效;
