新型太阳能级硅片切割技术

来源期刊：材料科学与工程学报2010年第4期

论文作者：毕勇 刘志东 邱明波 汪炜 田宗军 黄因慧

文章页码：582 - 1152

关键词：太阳能级硅;电火花;线切割;复合工作液;

摘    要：提出了一种基于复合工作液的以电火花放电加工技术对半导体硅材料进行切割的新方法,研制了标准太阳能级硅切割专用夹具。结果表明高速走丝电火花线切割（HS-WEDM）对半导体硅切割具有效率高、材料损耗小、表面平整度好等特点,经检测切割效率大于100mm2/min,并且该技术能够实现大尺寸薄片切割,目前最大加工直径超过200mm,硅片厚度可控制在120μm以内。该工艺方法为探索进一步提高半导体硅材料放电切割效率,提高硅材料利用率以降低太阳能电池成本,拓展半导体材料的电火花加工方法,并形成具有我国自主知识产权的太阳能级硅高效放电切割技术提供了理论及实践依据。