提高辐射剂量计用金刚石膜电学性能的研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第2期
论文作者：苏葆辉 王兵 廖晓明 张进 苟立 冉均国
关键词：金刚石薄膜; 等离子体原位后处理; 电学性能; 辐射剂量计;
摘 要：针对目前金刚石膜存在电阻率低,使辐射剂量计器件的信噪比不大、X光灵敏度较低的问题,采用优化的氧等离子体和氮等离子体对生成膜进行原位后处理.结果表明:氧等离子体处理比氮等离子体更能有效的刻蚀石墨等非金刚石成分;处理后样品生成膜的电阻率可提高至少4个数量级;优化的等离子体处理工艺能提高金刚石膜对X射线的响应.
苏葆辉1，王兵2，廖晓明1，张进1，苟立1，冉均国1
(1.四川大学,四川,成都,610065;
2.西南科技大学,四川,绵阳,621010)
摘要:针对目前金刚石膜存在电阻率低,使辐射剂量计器件的信噪比不大、X光灵敏度较低的问题,采用优化的氧等离子体和氮等离子体对生成膜进行原位后处理.结果表明:氧等离子体处理比氮等离子体更能有效的刻蚀石墨等非金刚石成分;处理后样品生成膜的电阻率可提高至少4个数量级;优化的等离子体处理工艺能提高金刚石膜对X射线的响应.
关键词:金刚石薄膜; 等离子体原位后处理; 电学性能; 辐射剂量计;
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