微纳机械的设计理论及制造工艺综述
来源期刊：机械设计与制造2008年第12期
论文作者：丁涛 王芳 任工昌
文章页码：236 - 238
关键词：微纳机械;基础理论;微纳结构;制造工艺;
摘 要：综述了微纳结构特征的制造工艺进展及趋势。介绍了微纳机械的基础理论研究现状和发展趋势。
丁涛，王芳，任工昌
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