氢敏元件的种类及半导体薄膜材料在其中的应用
来源期刊:功能材料2004年第1期
论文作者:郝俊杰 李龙土
关键词:氢敏元件; 薄膜; 氧化镓;
摘 要:随着氢燃料电池技术在汽车应用中的日益完善,对高性能氢敏元件的需求也更加迫切.本文介绍了采用不同工作原理制备的氢敏元件的种类,着重描述了半导体薄膜材料的工作原理和改性途径,并针对我国目前研究较少的Ga2O3新型薄膜材料进行了较为详细的综合论述.
郝俊杰1,李龙土1
(1.清华大学,材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084)
摘要:随着氢燃料电池技术在汽车应用中的日益完善,对高性能氢敏元件的需求也更加迫切.本文介绍了采用不同工作原理制备的氢敏元件的种类,着重描述了半导体薄膜材料的工作原理和改性途径,并针对我国目前研究较少的Ga2O3新型薄膜材料进行了较为详细的综合论述.
关键词:氢敏元件; 薄膜; 氧化镓;
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