氧离子注入对铝、铁薄膜结构影响的实验研究
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)1983年第2期
论文作者：孙树滋 李杰 廖蔚树
文章页码：117 - 251
摘 要：透射电子显微镜分析表明,高剂量的氧离子注入能够改变金属薄膜的结构。注入的氧离子使面心立方的多晶铝薄膜变成非晶态的三氧化二铝;使体心立方的多晶铁薄膜变成面心立方的四氧化三铁。
孙树滋，李杰，廖蔚树
摘 要：透射电子显微镜分析表明,高剂量的氧离子注入能够改变金属薄膜的结构。注入的氧离子使面心立方的多晶铝薄膜变成非晶态的三氧化二铝;使体心立方的多晶铁薄膜变成面心立方的四氧化三铁。
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