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反应溅射制备非晶Al2O3薄膜的介电特性

来源期刊：材料科学与工程学报2000年第3期

论文作者：狄国庆赵登涛朱炎

关键词：反应射频磁控溅射; 介电性质; 非晶; 氧化铝薄膜;

摘要：在氧气、氩气的混合气氛中,利用反应射频磁控溅射制备了厚度在100到10纳米的非晶氧化铝薄膜.通过Al-Al2O3-Al电容器研究了此非晶薄膜的介电性质.

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狄国庆¹，赵登涛¹，朱炎¹

(1.苏州大学物理系薄膜材料实验室,江苏,苏州,215006)

摘要:在氧气、氩气的混合气氛中,利用反应射频磁控溅射制备了厚度在100到10纳米的非晶氧化铝薄膜.通过Al-Al2O3-Al电容器研究了此非晶薄膜的介电性质.

关键词:反应射频磁控溅射; 介电性质; 非晶; 氧化铝薄膜;

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