简介概要

脉冲激光沉积(PLD)的研究动态与新发展

来源期刊：材料导报2005年第2期

论文作者：金克新李谭赵省贵王永仓高国棉陈钊陈长乐

关键词：PLD; 等离子体; 薄膜沉积;

摘要：介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的原理、特点,详细探讨了脉冲激光沉积的研究动态和发展趋势.大量研究表明,PLD技术是目前制备薄膜的最好方法之一.

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金克新¹，李谭¹，赵省贵¹，王永仓¹，高国棉¹，陈钊¹，陈长乐¹

(1.西北工业大学理学院,西安,710072;
2.空军工程大学理学院,西安,710052)

摘要:介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的原理、特点,详细探讨了脉冲激光沉积的研究动态和发展趋势.大量研究表明,PLD技术是目前制备薄膜的最好方法之一.

关键词:PLD; 等离子体; 薄膜沉积;

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