气相沉积技术制备TiN类硬质膜

田永生¹，雷廷权²，王德云¹，陈传忠¹

(1.山东大学,材料科学与工程学院,山东,济南,250061;
2.哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001)

摘要:硬质膜由于具有良好的耐磨、耐蚀和耐热等特点,所以在航天、化工和机械等领域获得了日益广泛的应用,而硬质膜的组成和制备工艺也随之得到不断发展.本文综述了TiN类硬质膜的应用和制备硬质膜常用的气相沉积方法、工艺参数及其优缺点.阐明了制备工艺正向着以三束(电子束、离子束和激光束)为基础多种工艺复合的方向发展.而硬质膜正向着多元膜、梯度膜和纳米复合膜方向发展.

关键词:硬质膜; 陶瓷; 制备工艺; 进展; 气相沉积;

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