惰气熔融－热导法测定烧结氮化硅中氮

朱跃进¹，李素娟¹

(1.中国科学院金属研究所,)

摘要:粉末压型烧结氮化硅样中氮和氧难以完全释放，其主要原因为烧 结氮化硅样与粉末氮化硅样释放动力学条件不同。熔融提气过程中选用适当的 浴料，可以提高氮氧的释放提取率。单元铁浴和铜浴可改善氮的释放情况，但 分析时间长而拖尾。自行配制的五元浴不仅氮的释放提取率高，而且分析时间 适中；其最终测试结果与化学法测定结果一致。惰气熔融法结合五元浴能够准 确测定烧结氮化硅中氮。本文还对烧结氮化硅样中氧的联测结果进行了讨论。

关键词:惰气熔融－热导法; 烧结氮化硅; 五元浴; 氮;

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