用低温Raman散射光谱研究不同处理的CdZnTe表面
来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期
论文作者：裴慧元 方家熊
关键词：Cd0.96Zn0.04Te; Raman散射光谱; 表面处理;
摘 要：利用低温Raman散射光谱分析,比较了4种典型处理的Cd0.96Zn0.04Te表面声子散射信号和表面元素沉积的变化.对-220～-90cm-1的反斯托克斯分量进行分析得出,BM液腐蚀后的表面晶格完整性最好;LB液处理有利于进一步改善表面粗糙度和表面漏电流;离子轰击的表面缺陷多,质量差,但对制备良好欧姆接触的电极有现实意义.实验证明Raman散射光谱对于探测表面上元素的沉积和分析表面质量的变化,进而优化表面处理工艺十分有效.
裴慧元1，方家熊1
(1.传感技术国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083)
摘要:利用低温Raman散射光谱分析,比较了4种典型处理的Cd0.96Zn0.04Te表面声子散射信号和表面元素沉积的变化.对-220～-90cm-1的反斯托克斯分量进行分析得出,BM液腐蚀后的表面晶格完整性最好;LB液处理有利于进一步改善表面粗糙度和表面漏电流;离子轰击的表面缺陷多,质量差,但对制备良好欧姆接触的电极有现实意义.实验证明Raman散射光谱对于探测表面上元素的沉积和分析表面质量的变化,进而优化表面处理工艺十分有效.
关键词:Cd0.96Zn0.04Te; Raman散射光谱; 表面处理;
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