影响CVD高纯钛工业化因素研究
来源期刊：轻金属2010年第5期
论文作者：王克功 韩涛 佘顺利 梁佰战
文章页码：45 - 49
关键词：CVD;高纯钛;工业化;沉淀速率;杂质含量;
摘 要：CVD法制备高纯钛过程中,高纯钛沉积速率和杂质含量是制约其规模化生产的主要原因。本文对沉积速率和杂质含量的影响因素进行了分析,发现影响沉积速率的主要因素是:真空度、温度以及加碘方式。影响杂质含量的主要因素是真空度、温度、TiI2蒸汽压以及海绵钛的质量。
王克功，韩涛，佘顺利，梁佰战
贵州大学材料与冶金学院
摘 要：CVD法制备高纯钛过程中,高纯钛沉积速率和杂质含量是制约其规模化生产的主要原因。本文对沉积速率和杂质含量的影响因素进行了分析,发现影响沉积速率的主要因素是:真空度、温度以及加碘方式。影响杂质含量的主要因素是真空度、温度、TiI2蒸汽压以及海绵钛的质量。
关键词：CVD;高纯钛;工业化;沉淀速率;杂质含量;
