YIG铁氧体单晶/薄膜生长工艺及成线技术
来源期刊:磁性材料及器件2002年第2期
论文作者:何水校
关键词:YIG单晶生长; 单晶薄膜; 助熔剂法; 液相外延; 生产技术;
摘 要:简要介绍了YIG铁氧体块状单晶和YIG单晶薄膜常见的生长方法,重点报道了助熔剂法和液相外延工艺,最后对YIG铁氧体块状单晶和单晶薄膜的科研工艺线建设提出了切实可行的方案.
何水校1
(1.中国西南应用磁学研究所,四川绵阳,621000)
摘要:简要介绍了YIG铁氧体块状单晶和YIG单晶薄膜常见的生长方法,重点报道了助熔剂法和液相外延工艺,最后对YIG铁氧体块状单晶和单晶薄膜的科研工艺线建设提出了切实可行的方案.
关键词:YIG单晶生长; 单晶薄膜; 助熔剂法; 液相外延; 生产技术;
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