微重力双向温差作用下Czochralski法硅熔体中的热毛细对流

来源期刊：功能材料2016年第12期

论文作者：魏程星云 彭岚 张全壮

文章页码：12090 - 12096

关键词：热毛细对流;Cz结构;双向温度梯度;数值模拟;表面张力;

摘    要：采用数值模拟的方法研究了微重力条件下Czochralski法生长硅晶体过程中熔体热毛细对流的基本特征,探讨了水平和垂直温度梯度的耦合对熔体流动的影响。熔体自由表面与外界辐射换热,水平温度梯度Marangoni（Ma）数选取（0³ 000）,底部热流Q选取（1.39×10-2¹.76×10-2）。结果表明,当Q和Ma数均较小时,流动为稳态,液池内产生3个流胞,熔体流动由Q主导,减小Q或增大Ma数可使流动更稳定。当Ma数增大到一定值时,流动从稳态转变为非稳态,流动的临界Mac数随Q的增大而显著减小。流动失稳后,出现了新的流动转变方式,Ma数为影响表面波动形式的关键因素,Q会改变热流体波数,是晶体附近的热流体波产生的决定因素。随着Ma数和Q的不断增强,自由表面最终形成弯曲条幅状热流体波。