简介概要

CuO-ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究

来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期

论文作者：魏红军胡英周晓华

关键词：气敏传感器; 异质结CuO-ZnO半导体陶瓷;

摘要：CuO-ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器,它有成本低、工艺简单、检测方便等众多优点.本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下,该传感器的气敏性能.测试了它的阻温特性及在不同温度、不同气氛条件下器件的灵敏度,并从理论上对测试结果及敏感机理进行了分析和讨论.

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魏红军¹，胡英¹，周晓华¹

(1.西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071)

摘要:CuO-ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器,它有成本低、工艺简单、检测方便等众多优点.本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下,该传感器的气敏性能.测试了它的阻温特性及在不同温度、不同气氛条件下器件的灵敏度,并从理论上对测试结果及敏感机理进行了分析和讨论.

关键词:气敏传感器; 异质结CuO-ZnO半导体陶瓷;

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