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电泳沉积法制备PNN-PZT厚膜的研究

来源期刊:无机材料学报2012年第4期

论文作者:卢剑萍 李国荣 郑嘹赢 曾江涛 曾华荣 卞建江

文章页码:379 - 384

关键词:电泳沉积;PNN-PZT厚膜;聚乙二醇;

摘    要:利用电泳沉积法在φ50μm的铂金丝上制备了厚度约50μm的0.2Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-(0.8-x)PbTiO3-xPbZrO3(PNN-PZT)致密压电陶瓷厚膜.研究了不同聚合度的分散剂聚乙二醇(PEG)对悬浮液的Zeta电势和厚膜表面形貌的影响.结果显示,加入高聚合度的分散剂PEG10000所制得的悬浮液比加入低聚合度的分散剂PEG6000制得的悬浮液更稳定,并且电泳沉积得到的厚膜也更加致密.本研究解释了不同聚合度的PEG对悬浮液稳定的可能原因,并比较了连续电泳沉积法与分步电泳沉积法对厚膜表面形貌的影响,结果表明采用分步电泳沉积法制备的厚膜更加致密.研究了不同的烧结温度对PNN-PZT厚膜形貌和介电性能的影响,结果显示烧结温度为1180℃时,厚膜的介电性能最好,介电常数达988,介电损耗为3.7%.测试了1180℃烧结的PNN-PZT厚膜的电压位移曲线和电滞回线,结果表明厚膜的有效压电常数为90 pm/V,剩余极化为6.00 kV/cm.

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电泳沉积法制备PNN-PZT厚膜的研究

卢剑萍1,2,李国荣1,郑嘹赢1,曾江涛1,曾华荣1,卞建江2

1. 中国科学院上海硅酸盐研究所2. 上海大学电子信息材料系

摘 要:利用电泳沉积法在φ50μm的铂金丝上制备了厚度约50μm的0.2Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-(0.8-x)PbTiO3-xPbZrO3(PNN-PZT)致密压电陶瓷厚膜.研究了不同聚合度的分散剂聚乙二醇(PEG)对悬浮液的Zeta电势和厚膜表面形貌的影响.结果显示,加入高聚合度的分散剂PEG10000所制得的悬浮液比加入低聚合度的分散剂PEG6000制得的悬浮液更稳定,并且电泳沉积得到的厚膜也更加致密.本研究解释了不同聚合度的PEG对悬浮液稳定的可能原因,并比较了连续电泳沉积法与分步电泳沉积法对厚膜表面形貌的影响,结果表明采用分步电泳沉积法制备的厚膜更加致密.研究了不同的烧结温度对PNN-PZT厚膜形貌和介电性能的影响,结果显示烧结温度为1180℃时,厚膜的介电性能最好,介电常数达988,介电损耗为3.7%.测试了1180℃烧结的PNN-PZT厚膜的电压位移曲线和电滞回线,结果表明厚膜的有效压电常数为90 pm/V,剩余极化为6.00 kV/cm.

关键词:电泳沉积;PNN-PZT厚膜;聚乙二醇;

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