双氧水体系抛光液中7003铝合金的化学机械抛光

来源期刊：轻金属2016年第5期

论文作者：黄华栋 闵鹏飞 仲亚男 卞达 赵永武

文章页码：49 - 52

关键词：7003铝合金;化学机械抛光;缓蚀剂;表面形貌;

摘    要：在碱性抛光液条件下,研究了过氧化氢抛光液体系下7003铝合金化学机械抛光行为。采用电化学分析方法分析了过氧化氢和十二烷基硫酸钠的协同作用机制,利用原子力显微镜观察抛光后的表面微观形貌。结果表明,低浓度H₂O₂能够加速铝合金表面氧化速度,促进材料的去除,同时能够减轻抛光后的表面橘皮缺陷;较高浓度H₂O₂能够在铝合金表面生成致密氧化膜,降低抛光速率。阴离子表面活性剂SDS能够通过吸附成膜减缓铝合金在H₂O₂介质下的腐蚀速率,当SDS的含量为1%时,缓蚀率达到88.56%,有效降低了抛光后的表面腐蚀,通过AFM检测抛光后的表面粗糙度降至13.9nm。